邁克爾遜干涉儀，是1881年美國(guó)物理學(xué)家邁克爾遜和莫雷合作，為研究“以太”漂移而設(shè)計(jì)制造出來(lái)的精密光學(xué)儀器。它是利用分振幅法產(chǎn)生雙光束以實(shí)現(xiàn)干涉。通過(guò)調(diào)整該干涉儀，可以產(chǎn)生等厚干涉條紋，也可以產(chǎn)生等傾干涉條紋。主要用于長(zhǎng)度和折射率的測(cè)量，若觀察到干涉條紋移動(dòng)一條，便是M2的動(dòng)臂移動(dòng)量為λ/2，等效于M1與M2之間的空氣膜厚度改變λ/2。在近代物理和近代計(jì)量技術(shù)中，如在光譜線精細(xì)結(jié)構(gòu)的研究和用光波標(biāo)定標(biāo)準(zhǔn)米尺等實(shí)驗(yàn)中都有著重要的應(yīng)用。利用該儀器的原理，研制出多種專用干涉儀。
干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來(lái)作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測(cè)量工作，并可作為精密工具機(jī)或測(cè)量?jī)x器的校正工作。
影響干涉儀測(cè)量精度的主要因素：
1. 頻率穩(wěn)定性：在干涉儀中，將波長(zhǎng)作為長(zhǎng)度基準(zhǔn)，頻率變化直接影響測(cè)量結(jié)果。
2. 大氣折射率。
3. 死程誤差：在零位時(shí)，干涉儀兩相干光的還有一段光程差，這一段光程差稱為死程。死程的變化會(huì)引起測(cè)量誤差，死程誤差是干涉儀的一項(xiàng)重要誤差。
4. 余弦誤差：在測(cè)定三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的定位誤差時(shí)，需仔細(xì)調(diào)整，使光束與滑座的運(yùn)動(dòng)方向平等。
5. 脈沖當(dāng)量誤差：干涉儀顯示的最小一個(gè)數(shù)所對(duì)應(yīng)的量值稱為脈沖當(dāng)量。
6. 細(xì)分誤差：在干涉條紋一個(gè)周期內(nèi)，由插細(xì)分不均勻引起的誤差。
7. 阿貝誤差：為避免阿貝誤差，需將角隅棱鏡的頂點(diǎn)調(diào)整到所測(cè)的直線上，否則由于滑座的角運(yùn)動(dòng)誤差引起阿貝誤差。
